由于三坐標測量儀是精密測量儀器，其機身采用的是空氣導軌，對空氣的潔凈度有較高的要求。如果廠區內氣源達不到要求，就會影響三坐標測量儀的使用。這就要考慮單獨配備空氣凈化的設施，為三坐標測量儀提供穩定潔凈的氣源。提供穩定潔凈的氣源，需要用到空壓機、冷凍干燥機和前置過濾。
如何安裝三坐標測量儀，確保三座標測量儀安裝質量及性能符合產品設計要求，請參考以下安裝步驟：
1.檢查安裝現場的電源、氣源、震源、安裝位置及通道是否準備就緒。
2.拆除三坐標測量儀的包裝箱，檢查坐標儀的狀況。
3.把坐標儀連同底座談一起移動到機器安裝位置，拆除固定機器的包裝支架。
4.連接底座電源及氣源管路并接通電源氣源。
5.在三坐標測量儀處于正常的工作壓力下，對X軸Y軸Z軸三軸氣浮軸承進行性能測試。
6.檢查與調整坐標儀X軸Y軸Z軸三軸驅動帶與傳動帶緊張力。
7.檢查與調整三坐標測量儀X軸Y軸Z軸三軸讀數頭與光柵尺。
8.安裝坐標儀外罩。
9.再次檢查與調整驅動系統。
10.連機進行測試
這是三坐標測量儀的詳細安裝過程，整個過程中需要廠家專業調試人員慎重操作。
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