三坐標光柵尺測量系統

光柵尺測量系統是三坐標測量機重要測量組成部分之一，三坐標光柵尺測量系統大致分為兩類，金屬反射光柵和玻璃透射光柵。

金屬反射光柵尺，是在金屬的鏡面上制成全反射或漫反射并間隔相等的線紋，稱作反射光柵。

玻璃透射光柵，在玻璃的表面上制作透明雨不透明間隔相等的線紋，可制成透射光柵。

三坐標光柵尺測量系統的工作原理：

光柵上刻有等間隔排列又能透過光線的細小的狹縫，如果把這樣兩個光柵一個固定在三坐標測量機上（標尺光柵），一個可以隨工作臺運動(稱為指示光柵)，并使兩者相互錯開一個角度θ疊合在一起，在“標尺光柵”與“指示光柵”的細小狹縫相交區域，透射光可以全部通過，便形成“亮區”；而在非相交部分，由于透射光被遮擋而形成“暗區”。這樣，在光柵的垂直方向上就可以形成明暗相間的條紋，這種條紋被人們稱為“莫爾條紋”。

光柵副（標尺光柵與指示光柵）沒相對移動一個柵距，莫爾條紋移動一個節距。莫爾條紋是由數百條光柵刻線共同形成的，因此它對光柵的刻線誤差有平均作用，提高了位移檢測精度。

光柵測量系統在三坐標測量機中是應用最廣的一種測量系統。這是因為它有許多優點，如光柵尺體積小，制造容易，安裝比較方便，測量精度較高，所得到的光電信號容易細分。但在三坐標保養維護時光柵尺怕油污和灰塵，一定要注意光柵尺的保養時要注意車間要無塵，不要用手隨意摸光柵尺。

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