三坐標測量儀常見一般故障，一是測量機出現雜音，二是三坐標測量軟件出現異常，無法正常工作。分析三坐標測量儀出現異常原因，為解決故障具有很大的幫助。
當三坐標發出“咯咯”的聲音時，可能出現移動部件和導軌或者固定件發生相互干涉或摩擦。大多數情況下，會出現空氣軸承和導軌發生相對摩擦，這類聲音較刺耳。
當三坐標測量機發出“嗡嗡‘的聲響時，大多數情況下可能因為工作氣壓設置過大造成空氣軸承的嘯叫。
當導軌表面不干凈或者有異物時，測量機經過該處就可能導致“運動狀態異常”的情況。
對于三坐標出現雜音的解決方法是，當發出“咯咯”的聲響，請馬上停止自動測量狀態，使用手操器分別控制機器的各單軸進行運動，注意聽，判斷哪個軸在什么地方發生這種“咯咯”的聲響，認真檢查導軌表面有無異物，或者空氣軸承經過摩擦掉下的粉末。當檢查為外罩類零件和固定件發生摩擦時，請重新安裝并固定外罩；當檢查導軌表面出現白色粉末狀物體時，請馬上停止對機器的操作并聯系專業人員進行維護維修。
對于“嗡嗡”的聲響，大多數情況下都是工作氣壓設置的問題，調整工作氣壓到用戶手冊中規定的設備工作氣壓數值，可解決該故障。
三坐標操作界面出現“運動狀態異常”時，可能由于兩個原因，所以，首先請檢查導軌表面是否有異物或者油污，大多數情況下，使用120#航空汽油清潔導軌表面可解決該故障。二是當在進行探測運動過程中，由于誤操作使得測頭進行誤觸發也可導致“運動狀態異常”。知道原因出在什么地方，對于排除三坐標故障，從而保證三坐標的正常運作是非常重要的。
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