高精度花崗石隔振平臺
規格 精度等級（μm） 毛重（kg） 0級 1級 2級 3級 800*500*100 5.3 10.7 21.3 42.6 185 1000*630*150 6 12.1 24.2 48.4 374 1000*750*150 6.3 12.5 25 50 425 1000*1000*150 6.7 13.5 27 53.9 560 1600*1000*200 8.2 16.3 32.6 65.3 1200 2000*1000*200 9.2 18.4 36.8 73.7 1500 2000*1600*250 10.2 20.4 40.7 81.5 2900 2500*600*300 11.4 22.8 45.6 91.2 4200 3000*2000*400 13.3 26.6 53.3 106.5 7800
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