20世紀70年代后期, 尤其是在 David Marr 教授建立計算視覺 ( Computational Vision) 理論框架以來, 圖像處理技術和圖像傳感器獲得了快速發展。隨著坐標測量技術的日趨發展與成熟, 在以光學比較為基礎的光學測量領域里, 坐標測量方法的發展應用有了更進一步的實質性進展。
1977年, 美國 View Engineering 公司發明了世界上第一臺由電機驅動 XYZ 軸的 RB- 1 影像測量系統, 它是一臺控制終端整合了視頻檢測和軟件測量的自動影像測量儀。此外, MechanicalTechnology 公司的 Boice Vista 系統則充分借鑒了坐標測量機的優勢,在坐標測量機的測頭上集成了一個視頻圖像測量系統, 該系統可以將測量數據與預先編制好的標準尺寸和公差進行比較。
這兩臺儀器通過不同途徑借鑒了坐標測量機的坐標測量原理, 將被測量物體的圖像投影到坐標系中。其測量平臺繼承了坐標測量機的形式。但其測頭與光學投影儀相似。這些儀器的出現開辟了一個重要的測量儀器行業, 即影像測量儀行業。
上世紀80年代初,影像測量技術有了重要的發展。1981年, ROI 公司開發出光學影像探針,可以替代坐標測量機上的接觸式探針進行非接觸式測量,放大倍率顯微鏡目鏡的影像測量儀。
進入上世紀90年代, 隨著CCD技術、計算機技術、數字圖像處理技術、LED 照明技術、直流/ 交流伺服驅動技術的發展, 影像測量儀產品獲得了巨大的發展。更多的廠商進入到影像測量儀產品市場, 共同推進了影像測量儀產品的發展。
2000年以后, 我國在該領域的技術水平不斷提高, 有關影像測量技術研究的文獻也不斷出現; 國內企業所開發的影像測量儀在生產規模、品種和質量上也不斷有所提升和發展。2009 年我國制定了國家標準GB/ T24762- 2009: 產品幾何技術規范( GPS) 影像測量儀的驗收檢測和復檢檢測, 它適用于 XY 平面直角坐標系的影像測量儀, 包括在垂直于平面直角坐標系 Z 方向上具有定位或測量功能的影像測量儀。
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